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激光微加工(即激光冷加工,也称微米级激光加工)作为一种新型制造技术和手段,以超短脉冲的激光光源配合精准的加工路径控制软件,能够实现更小,更精密,更高效稳定的工业制造需求,已广泛应用于微电子,微机械,射频微波,航空航天,微光学等领域。

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